昭和真空微调机

）IGCooling-water：Volumeisdecreasing原因离子枪冷却水的液位降低超过秒。IGCooling-water：FlowswitchError原因离子枪冷却水的流量开关操作或设置不正常。

流量开关在停止冷却水后不能操作（目的是检查流量开关计，冷却水在主抽完成后自动停止秒或在排气后分钟内自动停止秒）。RotaryPumpisnotturnedon原因开始信号已经输出给油旋转泵，但打开的信号没有返回。检查项目检查是否油旋转泵的温度计出错，检查电源和信号的连接是否正常，如果出错，检查设定的值，如果设置值正常，故障原因出在油旋转泵。

CPError原因检查项目随着冷凝泵的警报出现而出现，以下的-，都是这种情况。CPCooling：Pressurecheckisunfinished原因压力升高检查在冷凝泵内部，当冷却的时候启动，但没有在一小时内完成。

昭和微调机

CPCooling：CRYOPUMPisturnedoff原因冷凝泵的温度在冷凝后小时后不能达到L段设置的值（K）或更低。CPRegenerationisnotfinished原因N输入操作两次但是冷凝泵再生的压力检查没有完成。CPREGENEError：CPPumpingisunfinished原因再生操作的时候冷凝泵的排气在分钟内没有达到Pa。CPTemperatureisrising原因冷却冷凝泵结束后，冷凝泵内部温度高于L段设置（K）超过秒。CPpowerhasbeenrecovered原因在冷凝泵冷却完成（准备）突然停止后再重新自动启动。检查项目当“冷凝泵的温度是或低于值（K）”和“冷凝泵的压力是或低于值（P）”重新供应电源电力或者突然停止冷凝泵再自动启动。

昭和真空

Roughingisnotfinished原因在粗抽限定的时间内压力没有达到皮拉尼真空计的设定值。RoughingError：Chambercannotbepumped原因在抽气开始后秒真空槽没有达到真空状态。Main-pumpingisnotfinished原因虽然主抽限定时间已过但压力没有达到彭宁真空计（高真空）的设定范围。VacuumGaugeisnotturnedon原因在抽气操作到高真空的时候皮拉尼真空计放电检查信号没有被确认。Aside：BeamPWError原因A源的离子束电压有错误，离子束电压应为V或低于V。